9月8日,中巨芯在上海证券交易所科创板成功上市,股票代码为688549。
据了解,中巨芯此次发行股票36931.90万股,发行后总股本147727.60万股,发行价格5.18元/股,募集资金总额191307.24万元。
中巨芯新股开盘大涨170.656%,开盘价15.12元,成交量2053万股。截至北京时间9:51,现报13.42元,总市值198.25亿元。
据悉,超纯电子化学品项目拟投入13.8亿元,主要建设内容包括年产8万吨电子级硫酸、3万吨电子级氢氟酸、3万吨电子级硝酸、2.5万吨电子级氨水、2万吨电子级双氧水、1万吨电子级异丙醇、0.1万吨电子级混酸,目前该项目仍在建设当中。
资料显示,中巨芯成立于2017年12月,由巨化股份和国家集成电路产业投资基金为主投资设立,主要从事电子湿化学品、电子特种气体和前驱体材料的研发、生产和销售。其中,电子湿化学品包括电子级氢氟酸、电子级硝酸、电子级硫酸、电子级盐酸、电子级氨水、缓冲氧化物刻蚀液、硅刻蚀液等;电子特种气体包括高纯氯气、高纯氯化氢、高纯六氟化钨、高纯六氟丁二烯、高纯氟化氢、高纯三氟甲烷、高纯八氟环丁烷、高纯八氟环戊烯等。
招股说明书显示,中巨芯由浙江巨化股份有限公司和国家集成电路产业投资基金为主投资设立,二者分别持股35.1999%。中巨芯下设有3家全资子公司,分别是凯圣氟化学、博瑞电子与中巨芯湖北,其中博瑞电子控股1家子公司博瑞 中硝。此外,中巨芯设有1家分公司中巨芯上海分公司,还直接参股芯链融创,凯圣氟化学设有1家分公司凯圣氟化学上海分公司,博瑞电子参股1家公司博瑞商贸,中巨芯股权结构图如下:
电子级氢氟酸领域:中巨芯是国内少数能够稳定批量供应12英寸1Xnm(10-20nm)制程的集成电路制造用电子级氢氟酸的企业,其电子级氢氟酸产品被浙江省经济和信息化厅认定达到“技术水平国际先进且打破国际垄断”;中巨芯电子级氢氟酸已达到G5级,该产品荣获过集成电路材料创新联盟五星产品证书,2021年度浙江省重点首批次新材料,并取得SK海力士出具的―批量供应12英寸1Xnm(10-20nm)制程、指标达到国际同类产品先进水平、关键材料之超高纯化学品本土化供应的产品应用认证。截至2022年上半年,中巨芯拥有约54500吨/年的产能。此外,中巨芯旗下浙江凯圣氟化学有限公司3万吨/年ppt电子级氢氟酸扩建装置已于2022年年中顺利投料试车,产品级别可达G5级别。
电子级硫酸、电子级硝酸、电子级盐酸领域:中巨芯成熟量产的电子级硫酸已达到 G5级,能够用于28nm及以下制程12英寸晶圆制造;电子级硝酸已达到G5级,能够用于14nm制程12英寸晶圆制造;电子级盐酸已达到G4级,能够用于12英寸晶圆制造。
电子级氟化铵、氨水、缓冲氧化物刻蚀液:中巨芯量产的电子级氟化铵、电子级氨水、缓冲氧化物刻蚀液均已达到G4级。
含氟电子特气领域:中巨芯可以实现4N5纯度六氟丁二烯、5N5纯度高纯六氟化钨以及5N纯度高纯氟化氢的量产,并正进行6N纯度高纯六氟化钨的研发;中巨芯已实现实现5N纯度三氟甲烷、5N纯度八氟环丁烷、4N纯度八氟环戊烯的生产并进入客户端认证环节。
前驱体材料:中巨芯已经实现纯度为6-7N的HCDS、 BDEAS、TDMAT生产,其中HCDS已量产销售,BDEAS、TDMAT已进入客户端认证环节。
各报告期内,中巨芯电子级氢氟酸由凯圣氟化学和凯恒电子共同实施生产。其中,凯圣氟化学的电子级氢氟酸主要面向集成电路领域客户;凯恒电子的电子级氢氟酸主要面向光伏、显示面板领域客户。
另外,凯圣氟化学电子级氢氟酸2020年实施技改,因此2020年产能新增 6000吨;2021年,根据下游市场变化,凯圣氟化学调减2500吨/年40%浓度的电子级氢氟酸的产能;凯圣氟化学电子级氢氟酸2022年实施扩建,年产能新增18000吨;凯圣氟化学电子级硝酸2021年实施技改,年产能新增9000吨;凯圣氟化学电子级硫酸2021年实施技改和扩建,年产能新增20000吨。